VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
NATIVE TANTALUM OXIDE / TANTALUM (TA)
1
35 DEG TOA
NORM
REGULAR
4
0
0
0
0
0
4
35 DEG TOA
NATIVE TANTALUM OXIDE / TANTALUM (TA)
2003
4
25
21
23
59
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
155.45
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
2
4.00E-06
0
0
0
0
2002
25
7834
0.0603073
0.288006
1244
0.288006
1333
0.287179
1251
0.286357
1279
0.285538
1361
0.284724
1285
0.283913
1259
0.283106
1290
0.282304
1318
0.281505
1302
0.28071
1261
0.279919
1270
0.279132
1220
0.278348
1236
0.277569
1187
0.276793
1246
0.276021
1210
0.275252
1245
0.274487
1271
0.273726
1385
0.272968
1392
0.272214
1409
0.271464
1474
0.270717
1524
0.269973
1457
0.269233
1418
0.268497
1358
0.267764
1355
0.267034
1348
0.266308
1245
0.265585
1214
0.264866
1208
0.26415
1154
0.263437
1169
0.262727
1156
0.262021
1142
0.261318
1161
0.260618
1155
0.259922
1168
0.259228
1176
0.258538
1153
0.257851
1142
0.257167
1218
0.256486
1239
0.255808
1130
0.255134
1173
0.254462
1182
0.253793
1192
0.253128
1141
0.252465
1169
0.251805
1195
0.251149
1140
0.250495
1151
0.249844
1141
0.249196
1138
0.248551
1202
0.247909
1237
0.247269
1186
0.246633
1260
0.245999
1205
0.245368
1199
0.24474
1222
0.244114
1231
0.243492
1264
0.242872
1228
0.242254
1293
0.24164
1244
0.241028
1238
0.240418
1232
0.239812
1296
0.239208
1276
0.238606
1311
0.238007
1294
0.237411
1303
0.236817
1275
0.236226
1314
0.235637
1295
0.235051
1287
0.234467
1263
0.233886
1282
0.233308
1344
0.232731
1296
0.232157
1293
0.231586
1295
0.231017
1342
0.23045
1359
0.229886
1353
0.229324
1336
0.228765
1376
0.228208
1345
0.227653
1418
0.2271
1350
0.22655
1306
0.226002
1350
0.225456
1304
0.224913
1333
0.224372
1316
0.223833
1296
0.223296
1332
0.222761
1341
0.222229
1388
0.221699
1406
0.221171
1293
0.220645
1415
0.220121
1386
0.219599
1405
0.21908
1379
0.218563
1371
0.218047
1386
0.217534
1378
0.217023
1359
0.216514
1438
0.216007
1439
0.215502
1475
0.214999
1424
0.214498
1442
0.213999
1390
0.213502
1365
0.213007
1425
0.212514
1441
0.212022
1440
0.211533
1420
0.211046
1472
0.210561
1425
0.210077
1431
0.209596
1410
0.209116
1545
0.208638
1523
0.208163
1391
0.207688
1442
0.207216
1442
0.206746
1494
0.206277
1439
0.205811
1513
0.205346
1529
0.204883
1507
0.204422
1536
0.203962
1520
0.203504
1568
0.203048
1456
0.202594
1481
0.202141
1521
0.201691
1566
0.201242
1544
0.200794
1541
0.200349
1629
0.199905
1523
0.199462
1543
0.199022
1589
0.198583
1588
0.198146
1535
0.19771
1552
0.197276
1547
0.196844
1548
0.196413
1606
0.195984
1534
0.195556
1580
0.19513
1651
0.194706
1647
0.194283
1678
0.193862
1662
0.193443
1629
0.193024
1604
0.192608
1633
0.192193
1621
0.19178
1660
0.191368
1644
0.190957
1676
0.190548
1609
0.190141
1668
0.189735
1638
0.189331
1673
0.188928
1674
0.188526
1731
0.188126
1727
0.187728
1712
0.18733
1692
0.186935
1644
0.18654
1670
0.186148
1582
0.185756
1698
0.185366
1750
0.184978
1734
0.18459
1693
0.184205
1756
0.18382
1785
0.183437
1716
0.183055
1680
0.182675
1767
0.182296
1813
0.181918
1792
0.181542
1818
0.181167
1736
0.180793
1799
0.180421
1840
0.18005
1772
0.17968
1813
0.179312
1832
0.178945
1884
0.178579
1840
0.178214
1772
0.177851
1875
0.177489
1768
0.177128
1835
0.176769
1884
0.176411
1879
0.176054
1923
0.175698
1872
0.175343
1883
0.17499
1881
0.174638
1924
0.174287
1860
0.173937
1900
0.173589
1956
0.173242
1895
0.172896
1865
0.172551
1873
0.172207
1862
0.171864
1899
0.171523
1883
0.171183
1980
0.170844
1945
0.170506
1905
0.170169
1960
0.169833
2031
0.169499
2004
0.169165
1980
0.168833
2002
0.168502
1886
0.168172
1985
0.167843
2000
0.167515
1974
0.167189
1970
0.166863
1982
0.166538
2015
0.166215
1965
0.165893
2016
0.165571
2074
0.165251
2053
0.164932
1957
0.164614
1990
0.164297
2126
0.163981
2102
0.163666
2082
0.163352
1997
0.163039
2025
0.162727
2070
0.162416
2108
0.162106
2191
0.161797
2074
0.161489
2153
0.161182
2083
0.160877
2223
0.160572
2137
0.160268
2142
0.159965
2161
0.159663
2108
0.159362
2222
0.159062
2087
0.158763
2126
0.158465
2159
0.158168
2167
0.157872
2206
0.157577
2179
0.157283
2282
0.156989
2240
0.156697
2276
0.156406
2235
0.156115
2233
0.155825
2218
0.155537
2225
0.155249
2206
0.154962
2313
0.154676
2360
0.154391
2209
0.154107
2288
0.153824
2362
0.153542
2276
0.15326
2329
0.15298
2267
0.1527
2326
0.152421
2372
0.152143
2447
0.151866
2408
0.15159
2325
0.151315
2362
0.15104
2403
0.150767
2336
0.150494
2341
0.150222
2348
0.149951
2399
0.149681
2484
0.149411
2409
0.149143
2426
0.148875
2453
0.148608
2436
0.148342
2503
0.148077
2424
0.147812
2492
0.147548
2426
0.147285
2499
0.147023
2503
0.146762
2460
0.146502
2404
0.146242
2532
0.145983
2554
0.145725
2556
0.145468
2489
0.145211
2560
0.144955
2626
0.1447
2624
0.144446
2541
0.144193
2561
0.14394
2506
0.143688
2568
0.143437
2631
0.143186
2611
0.142937
2592
0.142688
2574
0.142439
2682
0.142192
2615
0.141945
2540
0.141699
2646
0.141454
2698
0.141209
2720
0.140965
2682
0.140722
2722
0.14048
2714
0.140238
2747
0.139997
2724
0.139757
2654
0.139518
2759
0.139279
2802
0.139041
2700
0.138803
2724
0.138566
2735
0.13833
2764
0.138095
2738
0.13786
2881
0.137626
2794
0.137393
2700
0.13716
2832
0.136928
2756
0.136697
2801
0.136466
2838
0.136236
2773
0.136007
2807
0.135779
2782
0.135551
2875
0.135323
2765
0.135097
2780
0.134871
2920
0.134645
2746
0.13442
2931
0.134196
2940
0.133973
2897
0.13375
2908
0.133528
2908
0.133306
2950
0.133085
2965
0.132865
2962
0.132645
3028
0.132426
2923
0.132208
2982
0.13199
2981
0.131773
3031
0.131556
3099
0.13134
3029
0.131125
2995
0.13091
2963
0.130696
3064
0.130483
2975
0.13027
3105
0.130057
3104
0.129846
3088
0.129634
3002
0.129424
2933
0.129214
3076
0.129004
3023
0.128795
3018
0.128587
3199
0.12838
3199
0.128172
3137
0.127966
3165
0.12776
3204
0.127555
3155
0.12735
3241
0.127145
3165
0.126942
3115
0.126739
3289
0.126536
3293
0.126334
3214
0.126132
3307
0.125931
3218
0.125731
3323
0.125531
3159
0.125332
3298
0.125133
3232
0.124935
3269
0.124737
3318
0.12454
3334
0.124344
3361
0.124147
3374
0.123952
3375
0.123757
3263
0.123562
3414
0.123368
3383
0.123175
3357
0.122982
3395
0.12279
3430
0.122598
3280
0.122406
3493
0.122215
3296
0.122025
3484
0.121835
3383
0.121646
3418
0.121457
3492
0.121269
3469
0.121081
3375
0.120893
3434
0.120707
3532
0.12052
3456
0.120334
3610
0.120149
3479
0.119964
3601
0.11978
3529
0.119596
3551
0.119412
3502
0.119229
3712
0.119047
3584
0.118865
3644
0.118683
3631
0.118502
3771
0.118322
3692
0.118142
3587
0.117962
3615
0.117783
3674
0.117604
3691
0.117426
3600
0.117248
3589
0.117071
3668
0.116894
3608
0.116718
3620
0.116542
3559
0.116366
3594
0.116191
3777
0.116017
3770
0.115843
3626
0.115669
3592
0.115496
3657
0.115323
3670
0.115151
3588
0.114979
3754
0.114807
3547
0.114636
3478
0.114466
3484
0.114295
3417
0.114126
3265
0.113956
3316
0.113788
3295
0.113619
3229
0.113451
3208
0.113284
3238
0.113116
3186
0.11295
3318
0.112783
3838
0.112617
4889
0.112452
6368
0.112287
7834
0.112122
5577
0.111958
3432
0.111794
3058
0.111631
3197
0.111468
3041
0.111305
3025
0.111143
3084
0.110981
3000
0.11082
2993
0.110659
3125
0.110498
3071
0.110338
3046
0.110178
3120
0.110019
3148
0.10986
3119
0.109701
3015
0.109543
3184
0.109385
3137
0.109228
3098
0.109071
3073
0.108914
3229
0.108758
3152
0.108602
3121
0.108447
3120
0.108292
3173
0.108137
3072
0.107982
3092
0.107829
3154
0.107675
3203
0.107522
3232
0.107369
3193
0.107216
3219
0.107064
3236
0.106912
3224
0.106761
3247
0.10661
3232
0.106459
3278
0.106309
3218
0.106159
3236
0.10601
3330
0.105861
3275
0.105712
3322
0.105563
3333
0.105415
3209
0.105267
3263
0.10512
3242
0.104973
3220
0.104826
3215
0.10468
3463
0.104534
3372
0.104388
3311
0.104243
3357
0.104098
3344
0.103953
3324
0.103809
3376
0.103665
3283
0.103522
3434
0.103378
3423
0.103235
3288
0.103093
3338
0.102951
3461
0.102809
3583
0.102667
3670
0.102526
3678
0.102385
3625
0.102245
3557
0.102104
3546
0.101964
3455
0.101825
3407
0.101686
3497
0.101547
3351
0.101408
3384
0.10127
3260
0.101132
3433
0.100994
3341
0.100857
3376
0.10072
3428
0.100583
3293
0.100447
3419
0.100311
3373
0.100175
3460
0.10004
3242
0.0999048
3365
0.09977
3404
0.0996356
3450
0.0995014
3417
0.0993676
3482
0.099234
3467
0.0991008
3416
0.0989679
3459
0.0988353
3334
0.098703
3566
0.098571
3403
0.0984393
3435
0.0983079
3604
0.0981767
3501
0.0980459
3485
0.0979154
3555
0.0977852
3526
0.0976553
3462
0.0975257
3419
0.0973964
3526
0.0972674
3508
0.0971386
3532
0.0970102
3574
0.096882
3594
0.0967542
3516
0.0966266
3649
0.0964993
3552
0.0963723
3545
0.0962456
3519
0.0961192
3605
0.095993
3505
0.0958672
3459
0.0957416
3455
0.0956163
3377
0.0954913
3437
0.0953666
3507
0.0952421
3555
0.095118
3520
0.0949941
3658
0.0948704
3698
0.0947471
3713
0.094624
4098
0.0945012
4394
0.0943787
4442
0.0942564
4282
0.0941345
4272
0.0940128
3926
0.0938913
3781
0.0937701
3597
0.0936492
3456
0.0935286
3431
0.0934082
3280
0.0932881
3198
0.0931683
3298
0.0930487
3181
0.0929294
3181
0.0928103
3059
0.0926915
3102
0.092573
3269
0.0924547
3140
0.0923367
3177
0.092219
3166
0.0921015
3196
0.0919842
3239
0.0918672
3171
0.0917505
3094
0.091634
3191
0.0915178
3245
0.0914018
3226
0.0912861
3150
0.0911707
3224
0.0910554
3259
0.0909405
3270
0.0908257
3255
0.0907113
3355
0.090597
3222
0.0904831
3298
0.0903693
3239
0.0902558
3324
0.0901426
3250
0.0900296
3329
0.0899168
3265
0.0898043
3284
0.089692
3255
0.08958
3280
0.0894682
3363
0.0893567
3271
0.0892453
3299
0.0891343
3325
0.0890234
3326
0.0889128
3257
0.0888024
3356
0.0886923
3302
0.0885824
3527
0.0884727
3329
0.0883633
3420
0.0882541
3369
0.0881451
3486
0.0880364
3512
0.0879279
3544
0.0878196
3452
0.0877115
3498
0.0876037
3395
0.0874961
3472
0.0873887
3468
0.0872815
3534
0.0871746
3491
0.0870679
3502
0.0869614
3532
0.0868552
3608
0.0867492
3635
0.0866434
3595
0.0865378
3612
0.0864324
3490
0.0863272
3585
0.0862223
3519
0.0861176
3568
0.0860131
3599
0.0859088
3562
0.0858048
3828
0.0857009
3635
0.0855973
3715
0.0854939
3604
0.0853907
3567
0.0852877
3637
0.0851849
3650
0.0850824
3674
0.08498
3834
0.0848779
3816
0.0847759
3681
0.0846742
3709
0.0845727
3609
0.0844714
3819
0.0843703
3822
0.0842694
3774
0.0841688
3827
0.0840683
3826
0.083968
3796
0.0838679
3958
0.0837681
3868
0.0836684
3789
0.083569
3858
0.0834697
3895
0.0833707
3874
0.0832718
3860
0.0831732
3821
0.0830747
3897
0.0829765
3885
0.0828784
3866
0.0827806
3887
0.0826829
3842
0.0825855
3830
0.0824882
3844
0.0823912
3830
0.0822943
3881
0.0821976
3799
0.0821012
3850
0.0820049
3806
0.0819088
3881
0.0818129
4195
0.0817172
4350
0.0816217
4719
0.0815264
5730
0.0814312
5918
0.0813363
4480
0.0812415
3867
0.081147
3899
0.0810526
3772
0.0809584
3901
0.0808644
3779
0.0807706
3888
0.080677
3797
0.0805835
3850
0.0804903
3872
0.0803972
3807
0.0803043
3928
0.0802116
3932
0.0801191
3781
0.0800268
3755
0.0799346
3872
0.0798427
3872
0.0797509
4012
0.0796593
3917
0.0795678
4051
0.0794766
3920
0.0793855
3897
0.0792946
3978
0.0792039
3988
0.0791134
3892
0.079023
4134
0.0789329
4177
0.0788429
3992
0.078753
3960
0.0786634
4004
0.0785739
3786
0.0784846
3747
0.0783955
3814
0.0783065
3767
0.0782177
3671
0.0781291
3787
0.0780407
3825
0.0779524
3879
0.0778643
3983
0.0777764
4388
0.0776886
4900
0.0776011
5375
0.0775136
5505
0.0774264
5011
0.0773393
4436
0.0772524
3894
0.0771657
3405
0.0770791
3214
0.0769927
3130
0.0769064
3266
0.0768203
3476
0.0767344
4075
0.0766487
5229
0.0765631
5845
0.0764777
5460
0.0763924
4416
0.0763073
3582
0.0762224
3111
0.0761376
2701
0.076053
2449
0.0759685
2184
0.0758842
2008
0.0758001
1960
0.0757162
1849
0.0756323
1708
0.0755487
1669
0.0754652
1787
0.0753819
1709
0.0752987
1627
0.0752157
1618
0.0751328
1599
0.0750501
1565
0.0749675
1548
0.0748852
1665
0.0748029
1582
0.0747208
1518
0.0746389
1624
0.0745571
1565
0.0744755
1537
0.074394
1557
0.0743127
1592
0.0742315
1562
0.0741505
1570
0.0740697
1538
0.073989
1541
0.0739084
1564
0.073828
1563
0.0737477
1555
0.0736676
1543
0.0735877
1564
0.0735078
1535
0.0734282
1633
0.0733487
1584
0.0732693
1552
0.0731901
1582
0.073111
1543
0.0730321
1580
0.0729533
1646
0.0728746
1572
0.0727961
1535
0.0727178
1580
0.0726396
1598
0.0725615
1583
0.0724836
1560
0.0724059
1561
0.0723282
1639
0.0722507
1578
0.0721734
1602
0.0720962
1526
0.0720191
1618
0.0719422
1598
0.0718654
1561
0.0717888
1555
0.0717123
1628
0.0716359
1601
0.0715597
1625
0.0714836
1660
0.0714077
1703
0.0713319
1577
0.0712562
1670
0.0711807
1588
0.0711053
1628
0.07103
1666
0.0709549
1689
0.0708799
1626
0.0708051
1687
0.0707304
1547
0.0706558
1604
0.0705814
1709
0.0705071
1691
0.0704329
1697
0.0703588
1627
0.0702849
1703
0.0702112
1642
0.0701375
1732
0.070064
1626
0.0699906
1662
0.0699174
1707
0.0698443
1714
0.0697713
1787
0.0696984
1728
0.0696257
1650
0.0695531
1710
0.0694807
1625
0.0694083
1732
0.0693361
1716
0.0692641
1729
0.0691921
1703
0.0691203
1746
0.0690486
1713
0.068977
1774
0.0689056
1776
0.0688343
1686
0.0687631
1758
0.0686921
1767
0.0686211
1742
0.0685503
1718
0.0684796
1850
0.0684091
1813
0.0683386
1768
0.0682683
1708
0.0681982
1803
0.0681281
1771
0.0680582
1762
0.0679883
1809
0.0679187
1826
0.0678491
1733
0.0677796
1793
0.0677103
1797
0.0676411
1810
0.067572
1908
0.0675031
1869
0.0674342
1759
0.0673655
1803
0.0672969
1894
0.0672284
1796
0.0671601
1826
0.0670918
1838
0.0670237
1844
0.0669557
1885
0.0668878
1951
0.06682
1881
0.0667524
1861
0.0666849
1908
0.0666174
1837
0.0665501
1830
0.066483
1919
0.0664159
1880
0.0663489
1837
0.0662821
1868
0.0662154
1889
0.0661488
1892
0.0660823
1940
0.0660159
1877
0.0659496
1885
0.0658835
1914
0.0658175
1879
0.0657515
1801
0.0656857
1748
0.06562
1870
0.0655545
1850
0.065489
1895
0.0654236
1884
0.0653584
1873
0.0652932
1897
0.0652282
1891
0.0651633
2037
0.0650985
1951
0.0650338
2011
0.0649692
1965
0.0649048
2013
0.0648404
2096
0.0647761
1991
0.064712
1926
0.064648
2036
0.064584
1982
0.0645202
1895
0.0644565
1851
0.0643929
1896
0.0643294
1837
0.064266
1845
0.0642027
1850
0.0641396
1877
0.0640765
1819
0.0640135
1839
0.0639507
1886
0.0638879
1899
0.0638253
1914
0.0637628
1935
0.0637003
1951
0.063638
1897
0.0635758
1963
0.0635136
1919
0.0634516
1968
0.0633897
1963
0.0633279
2058
0.0632662
2125
0.0632046
2205
0.0631431
2191
0.0630817
2207
0.0630204
2064
0.0629592
2003
0.0628981
1864
0.0628371
1770
0.0627762
1717
0.0627155
1825
0.0626548
1909
0.0625942
1920
0.0625337
1566
0.0624733
1298
0.062413
1215
0.0623528
1042
0.0622928
889
0.0622328
952
0.0621729
1864
0.0621131
4923
0.0620534
6177
0.0619938
6999
0.0619343
5476
0.0618749
1672
0.0618156
1392
0.0617564
1352
0.0616973
1312
0.0616383
872
0.0615794
287
0.0615206
205
0.0614619
151
0.0614032
121
0.0613447
111
0.0612863
99
0.0612279
85
0.0611697
74
0.0611115
91
0.0610535
93
0.0609955
174
0.0609377
258
0.0608799
282
0.0608222
272
0.0607647
259
0.0607072
206
0.0606498
125
0.0605925
83
0.0605353
51
0.0604781
63
0.0604211
55
0.0603642
25
0.0603073
35 DEG TOA
NATIVE TANTALUM OXIDE / TANTALUM (TA)
2003
4
25
21
23
59
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.66
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
296
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
1570
0.236823
0.24
101
0.24
89
0.239992
107
0.239984
133
0.239976
103
0.239968
72
0.23996
118
0.239952
162
0.239944
148
0.239936
40
0.239927
68
0.239919
126
0.239911
167
0.239903
179
0.239895
133
0.239887
148
0.239879
66
0.239871
103
0.239863
110
0.239855
100
0.239847
107
0.239839
101
0.239831
120
0.239823
141
0.239815
114
0.239807
83
0.239799
65
0.239791
107
0.239783
137
0.239774
119
0.239766
140
0.239758
111
0.23975
108
0.239742
60
0.239734
90
0.239726
93
0.239718
145
0.23971
83
0.239702
140
0.239694
113
0.239686
180
0.239678
184
0.23967
134
0.239662
151
0.239654
169
0.239646
117
0.239638
139
0.23963
166
0.239622
154
0.239614
97
0.239606
112
0.239598
139
0.23959
122
0.239582
194
0.239574
125
0.239566
132
0.239557
73
0.239549
103
0.239541
110
0.239533
65
0.239525
155
0.239517
157
0.239509
105
0.239501
120
0.239493
110
0.239485
41
0.239477
136
0.239469
102
0.239461
169
0.239453
92
0.239445
180
0.239437
105
0.239429
101
0.239421
168
0.239413
190
0.239405
97
0.239397
75
0.239389
128
0.239381
106
0.239373
128
0.239365
96
0.239357
95
0.239349
92
0.239341
98
0.239333
125
0.239325
92
0.239317
73
0.239309
153
0.239301
137
0.239293
48
0.239285
122
0.239277
50
0.239269
148
0.239261
123
0.239253
165
0.239245
48
0.239237
180
0.239229
119
0.239221
172
0.239213
102
0.239205
86
0.239197
117
0.239189
176
0.239181
162
0.239173
145
0.239165
111
0.239157
157
0.239149
102
0.239141
228
0.239133
240
0.239125
155
0.239117
172
0.239109
200
0.239101
171
0.239093
178
0.239085
253
0.239077
206
0.239069
204
0.239061
219
0.239053
255
0.239045
237
0.239037
228
0.239029
251
0.239021
232
0.239013
214
0.239005
325
0.238997
180
0.238989
260
0.238981
275
0.238973
222
0.238965
228
0.238957
307
0.238949
195
0.238941
308
0.238933
274
0.238925
245
0.238917
216
0.238909
211
0.238901
251
0.238893
220
0.238885
164
0.238877
203
0.238869
261
0.238861
254
0.238853
228
0.238845
234
0.238837
258
0.238829
273
0.238821
213
0.238813
254
0.238805
230
0.238797
233
0.238789
255
0.238781
227
0.238773
250
0.238765
189
0.238758
321
0.23875
310
0.238742
350
0.238734
291
0.238726
298
0.238718
223
0.23871
324
0.238702
306
0.238694
275
0.238686
319
0.238678
359
0.23867
378
0.238662
345
0.238654
323
0.238646
305
0.238638
312
0.23863
435
0.238622
434
0.238614
465
0.238606
430
0.238598
512
0.23859
463
0.238582
543
0.238574
538
0.238566
508
0.238558
575
0.238551
648
0.238543
632
0.238535
721
0.238527
754
0.238519
794
0.238511
814
0.238503
854
0.238495
835
0.238487
1017
0.238479
1025
0.238471
1176
0.238463
1247
0.238455
1272
0.238447
1255
0.238439
1354
0.238431
1401
0.238423
1378
0.238415
1535
0.238407
1450
0.238399
1487
0.238392
1558
0.238384
1427
0.238376
1570
0.238368
1455
0.23836
1531
0.238352
1289
0.238344
1463
0.238336
1271
0.238328
1237
0.23832
1225
0.238312
1035
0.238304
960
0.238296
890
0.238288
811
0.23828
884
0.238272
751
0.238265
649
0.238257
551
0.238249
582
0.238241
403
0.238233
453
0.238225
437
0.238217
405
0.238209
374
0.238201
351
0.238193
253
0.238185
197
0.238177
295
0.238169
230
0.238161
213
0.238154
241
0.238146
219
0.238138
178
0.23813
170
0.238122
173
0.238114
223
0.238106
230
0.238098
117
0.23809
130
0.238082
136
0.238074
141
0.238066
82
0.238059
113
0.238051
170
0.238043
99
0.238035
109
0.238027
167
0.238019
100
0.238011
136
0.238003
88
0.237995
177
0.237987
86
0.237979
153
0.237971
102
0.237964
91
0.237956
168
0.237948
161
0.23794
148
0.237932
131
0.237924
92
0.237916
124
0.237908
104
0.2379
24
0.237892
162
0.237884
157
0.237877
113
0.237869
108
0.237861
84
0.237853
101
0.237845
138
0.237837
94
0.237829
121
0.237821
139
0.237813
184
0.237805
103
0.237798
86
0.23779
83
0.237782
105
0.237774
112
0.237766
106
0.237758
122
0.23775
107
0.237742
19
0.237734
185
0.237727
153
0.237719
87
0.237711
184
0.237703
59
0.237695
94
0.237687
200
0.237679
81
0.237671
119
0.237663
120
0.237656
92
0.237648
49
0.23764
106
0.237632
109
0.237624
79
0.237616
171
0.237608
161
0.2376
70
0.237592
103
0.237585
85
0.237577
117
0.237569
158
0.237561
79
0.237553
108
0.237545
20
0.237537
152
0.237529
107
0.237522
148
0.237514
136
0.237506
131
0.237498
200
0.23749
130
0.237482
41
0.237474
39
0.237466
167
0.237459
131
0.237451
103
0.237443
86
0.237435
154
0.237427
69
0.237419
130
0.237411
103
0.237403
135
0.237396
135
0.237388
194
0.23738
183
0.237372
53
0.237364
124
0.237356
68
0.237348
214
0.23734
108
0.237333
70
0.237325
92
0.237317
88
0.237309
178
0.237301
87
0.237293
132
0.237285
84
0.237278
119
0.23727
88
0.237262
50
0.237254
40
0.237246
71
0.237238
147
0.23723
102
0.237223
105
0.237215
171
0.237207
90
0.237199
106
0.237191
17
0.237183
88
0.237175
101
0.237168
134
0.23716
125
0.237152
121
0.237144
16
0.237136
102
0.237128
137
0.237121
79
0.237113
102
0.237105
64
0.237097
154
0.237089
128
0.237081
117
0.237073
158
0.237066
96
0.237058
80
0.23705
70
0.237042
139
0.237034
126
0.237026
132
0.237019
110
0.237011
54
0.237003
95
0.236995
135
0.236987
53
0.236979
37
0.236972
103
0.236964
156
0.236956
69
0.236948
113
0.23694
165
0.236932
78
0.236925
183
0.236917
0
0.236909
86
0.236901
123
0.236893
85
0.236885
164
0.236878
135
0.23687
116
0.236862
111
0.236854
113
0.236846
86
0.236838
70
0.236831
79
0.236823
35 DEG TOA
NATIVE TANTALUM OXIDE / TANTALUM (TA)
2003
4
25
21
23
59
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.66
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
542
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
4
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
3296
0.284018
0.288819
252
0.288819
214
0.288807
280
0.288794
222
0.288782
172
0.28877
331
0.288758
255
0.288746
295
0.288733
197
0.288721
229
0.288709
208
0.288697
253
0.288684
274
0.288672
243
0.28866
312
0.288648
258
0.288636
302
0.288623
178
0.288611
280
0.288599
255
0.288587
273
0.288575
144
0.288562
235
0.28855
209
0.288538
271
0.288526
243
0.288514
233
0.288501
316
0.288489
260
0.288477
169
0.288465
215
0.288453
308
0.28844
274
0.288428
314
0.288416
206
0.288404
202
0.288392
216
0.288379
282
0.288367
201
0.288355
259
0.288343
282
0.288331
193
0.288318
244
0.288306
180
0.288294
276
0.288282
243
0.28827
222
0.288258
198
0.288245
236
0.288233
216
0.288221
199
0.288209
177
0.288197
264
0.288185
161
0.288172
159
0.28816
242
0.288148
219
0.288136
218
0.288124
267
0.288112
224
0.288099
198
0.288087
247
0.288075
165
0.288063
196
0.288051
196
0.288039
284
0.288026
235
0.288014
148
0.288002
192
0.28799
234
0.287978
187
0.287966
177
0.287953
228
0.287941
163
0.287929
235
0.287917
243
0.287905
166
0.287893
259
0.287881
301
0.287868
217
0.287856
153
0.287844
183
0.287832
171
0.28782
183
0.287808
197
0.287796
210
0.287784
190
0.287771
234
0.287759
164
0.287747
225
0.287735
215
0.287723
170
0.287711
275
0.287699
189
0.287687
183
0.287674
247
0.287662
245
0.28765
255
0.287638
214
0.287626
222
0.287614
276
0.287602
282
0.28759
179
0.287577
237
0.287565
225
0.287553
191
0.287541
221
0.287529
165
0.287517
192
0.287505
267
0.287493
160
0.287481
181
0.287468
172
0.287456
163
0.287444
166
0.287432
214
0.28742
211
0.287408
222
0.287396
120
0.287384
162
0.287372
146
0.28736
247
0.287348
182
0.287335
213
0.287323
221
0.287311
159
0.287299
219
0.287287
222
0.287275
285
0.287263
260
0.287251
257
0.287239
266
0.287227
190
0.287215
251
0.287203
191
0.28719
242
0.287178
262
0.287166
293
0.287154
300
0.287142
184
0.28713
312
0.287118
291
0.287106
274
0.287094
313
0.287082
349
0.28707
293
0.287058
364
0.287046
438
0.287034
436
0.287022
346
0.287009
406
0.286997
409
0.286985
424
0.286973
453
0.286961
442
0.286949
480
0.286937
455
0.286925
545
0.286913
559
0.286901
600
0.286889
595
0.286877
656
0.286865
540
0.286853
640
0.286841
596
0.286829
716
0.286817
698
0.286805
703
0.286793
827
0.286781
804
0.286769
833
0.286756
847
0.286744
908
0.286732
888
0.28672
931
0.286708
890
0.286696
1077
0.286684
941
0.286672
1014
0.28666
1067
0.286648
1090
0.286636
1198
0.286624
1203
0.286612
1142
0.2866
1144
0.286588
1176
0.286576
1284
0.286564
1343
0.286552
1386
0.28654
1388
0.286528
1456
0.286516
1545
0.286504
1505
0.286492
1605
0.28648
1678
0.286468
1823
0.286456
1843
0.286444
1837
0.286432
2015
0.28642
2125
0.286408
2300
0.286396
2405
0.286384
2523
0.286372
2561
0.28636
2827
0.286348
2759
0.286336
2839
0.286324
3110
0.286312
3007
0.2863
3180
0.286288
3240
0.286276
3260
0.286264
3238
0.286252
3185
0.28624
3296
0.286228
3180
0.286216
3074
0.286204
3044
0.286192
2860
0.28618
2813
0.286168
2590
0.286156
2552
0.286144
2272
0.286132
2144
0.28612
1972
0.286108
1915
0.286096
1710
0.286084
1552
0.286072
1434
0.28606
1306
0.286048
1118
0.286036
1020
0.286024
955
0.286012
816
0.286001
693
0.285989
597
0.285977
564
0.285965
536
0.285953
444
0.285941
481
0.285929
358
0.285917
322
0.285905
245
0.285893
279
0.285881
260
0.285869
237
0.285857
218
0.285845
259
0.285833
230
0.285821
190
0.285809
233
0.285797
261
0.285785
141
0.285773
276
0.285761
145
0.28575
255
0.285738
168
0.285726
106
0.285714
158
0.285702
199
0.28569
130
0.285678
176
0.285666
212
0.285654
126
0.285642
156
0.28563
130
0.285618
155
0.285606
159
0.285594
96
0.285582
201
0.285571
163
0.285559
165
0.285547
113
0.285535
129
0.285523
133
0.285511
143
0.285499
156
0.285487
86
0.285475
163
0.285463
129
0.285451
90
0.285439
73
0.285428
102
0.285416
181
0.285404
105
0.285392
115
0.28538
113
0.285368
167
0.285356
80
0.285344
162
0.285332
99
0.28532
132
0.285309
83
0.285297
91
0.285285
101
0.285273
162
0.285261
168
0.285249
168
0.285237
127
0.285225
90
0.285213
147
0.285201
117
0.28519
117
0.285178
130
0.285166
177
0.285154
72
0.285142
105
0.28513
117
0.285118
131
0.285106
119
0.285095
143
0.285083
56
0.285071
65
0.285059
109
0.285047
128
0.285035
114
0.285023
102
0.285011
136
0.285
57
0.284988
82
0.284976
79
0.284964
147
0.284952
162
0.28494
107
0.284928
164
0.284917
124
0.284905
28
0.284893
133
0.284881
137
0.284869
82
0.284857
134
0.284845
138
0.284833
75
0.284822
127
0.28481
131
0.284798
156
0.284786
120
0.284774
99
0.284762
111
0.284751
119
0.284739
211
0.284727
129
0.284715
118
0.284703
127
0.284691
136
0.284679
97
0.284668
178
0.284656
51
0.284644
110
0.284632
143
0.28462
142
0.284608
149
0.284597
163
0.284585
155
0.284573
141
0.284561
145
0.284549
118
0.284537
91
0.284526
85
0.284514
155
0.284502
163
0.28449
114
0.284478
151
0.284467
113
0.284455
133
0.284443
63
0.284431
115
0.284419
113
0.284407
170
0.284396
157
0.284384
84
0.284372
146
0.28436
125
0.284348
90
0.284337
131
0.284325
100
0.284313
126
0.284301
114
0.284289
171
0.284278
151
0.284266
107
0.284254
75
0.284242
97
0.28423
125
0.284219
147
0.284207
37
0.284195
162
0.284183
74
0.284171
118
0.28416
157
0.284148
120
0.284136
112
0.284124
103
0.284112
103
0.284101
53
0.284089
123
0.284077
132
0.284065
146
0.284054
0
0.284042
98
0.28403
157
0.284018
35 DEG TOA
NATIVE TANTALUM OXIDE / TANTALUM (TA)
2003
4
25
21
24
0
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
54.66
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
36
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
6
4.00E-06
0
0
0
0
802
43
6776
0.202688
0.204921
803
0.204921
773
0.204915
802
0.204909
764
0.204904
782
0.204898
772
0.204892
736
0.204887
765
0.204881
779
0.204876
744
0.20487
741
0.204864
719
0.204859
786
0.204853
706
0.204847
754
0.204842
706
0.204836
733
0.20483
716
0.204825
627
0.204819
684
0.204813
747
0.204808
757
0.204802
706
0.204796
627
0.204791
649
0.204785
665
0.20478
690
0.204774
672
0.204768
706
0.204763
671
0.204757
588
0.204751
657
0.204746
654
0.20474
637
0.204734
658
0.204729
683
0.204723
645
0.204718
666
0.204712
611
0.204706
641
0.204701
640
0.204695
639
0.204689
608
0.204684
563
0.204678
630
0.204672
659
0.204667
637
0.204661
629
0.204656
616
0.20465
606
0.204644
606
0.204639
629
0.204633
635
0.204627
575
0.204622
586
0.204616
586
0.20461
602
0.204605
585
0.204599
554
0.204594
582
0.204588
522
0.204582
576
0.204577
599
0.204571
563
0.204565
572
0.20456
567
0.204554
507
0.204549
548
0.204543
543
0.204537
518
0.204532
550
0.204526
552
0.20452
561
0.204515
515
0.204509
490
0.204504
520
0.204498
509
0.204492
509
0.204487
482
0.204481
484
0.204475
500
0.20447
443
0.204464
490
0.204459
464
0.204453
478
0.204447
453
0.204442
477
0.204436
468
0.20443
450
0.204425
442
0.204419
425
0.204414
481
0.204408
455
0.204402
434
0.204397
425
0.204391
440
0.204385
445
0.20438
483
0.204374
462
0.204369
461
0.204363
447
0.204357
477
0.204352
516
0.204346
479
0.204341
453
0.204335
482
0.204329
534
0.204324
512
0.204318
561
0.204312
575
0.204307
598
0.204301
609
0.204296
591
0.20429
665
0.204284
701
0.204279
799
0.204273
764
0.204268
895
0.204262
980
0.204256
1068
0.204251
1148
0.204245
1306
0.20424
1499
0.204234
1670
0.204228
1868
0.204223
2149
0.204217
2183
0.204212
2627
0.204206
2875
0.2042
3020
0.204195
3463
0.204189
3754
0.204183
4068
0.204178
4387
0.204172
4644
0.204167
4754
0.204161
4878
0.204155
5224
0.20415
5304
0.204144
5368
0.204139
5449
0.204133
5268
0.204127
5208
0.204122
5080
0.204116
4878
0.204111
4584
0.204105
4379
0.204099
4062
0.204094
3876
0.204088
3595
0.204083
3158
0.204077
3007
0.204071
2827
0.204066
2436
0.20406
2424
0.204055
2287
0.204049
2220
0.204043
2170
0.204038
2164
0.204032
2180
0.204027
2250
0.204021
2496
0.204015
2690
0.20401
2884
0.204004
3220
0.203999
3528
0.203993
3766
0.203988
4198
0.203982
4455
0.203976
4822
0.203971
5251
0.203965
5499
0.20396
5808
0.203954
6110
0.203948
6492
0.203943
6552
0.203937
6625
0.203932
6742
0.203926
6776
0.20392
6501
0.203915
6440
0.203909
6331
0.203904
6032
0.203898
5631
0.203892
5095
0.203887
4904
0.203881
4476
0.203876
3997
0.20387
3808
0.203865
3303
0.203859
3032
0.203853
2584
0.203848
2399
0.203842
2048
0.203837
1782
0.203831
1638
0.203825
1489
0.20382
1292
0.203814
1169
0.203809
1027
0.203803
1010
0.203798
872
0.203792
870
0.203786
800
0.203781
774
0.203775
723
0.20377
708
0.203764
714
0.203758
703
0.203753
705
0.203747
644
0.203742
671
0.203736
622
0.203731
645
0.203725
665
0.203719
647
0.203714
596
0.203708
600
0.203703
641
0.203697
641
0.203692
655
0.203686
630
0.20368
652
0.203675
649
0.203669
691
0.203664
685
0.203658
648
0.203653
648
0.203647
673
0.203641
704
0.203636
717
0.20363
771
0.203625
788
0.203619
792
0.203614
807
0.203608
858
0.203602
849
0.203597
925
0.203591
896
0.203586
922
0.20358
916
0.203575
968
0.203569
1023
0.203563
971
0.203558
1027
0.203552
957
0.203547
1020
0.203541
995
0.203536
996
0.20353
975
0.203524
910
0.203519
873
0.203513
808
0.203508
799
0.203502
759
0.203497
722
0.203491
686
0.203486
640
0.20348
630
0.203474
633
0.203469
649
0.203463
628
0.203458
578
0.203452
625
0.203447
653
0.203441
673
0.203435
656
0.20343
693
0.203424
689
0.203419
688
0.203413
688
0.203408
765
0.203402
760
0.203397
770
0.203391
790
0.203385
847
0.20338
842
0.203374
880
0.203369
846
0.203363
877
0.203358
891
0.203352
904
0.203347
937
0.203341
971
0.203335
926
0.20333
887
0.203324
925
0.203319
805
0.203313
776
0.203308
681
0.203302
635
0.203297
536
0.203291
428
0.203286
386
0.20328
319
0.203274
314
0.203269
241
0.203263
236
0.203258
221
0.203252
191
0.203247
181
0.203241
163
0.203236
137
0.20323
164
0.203225
139
0.203219
153
0.203213
145
0.203208
110
0.203202
151
0.203197
142
0.203191
145
0.203186
124
0.20318
120
0.203175
100
0.203169
138
0.203164
118
0.203158
108
0.203152
107
0.203147
118
0.203141
114
0.203136
118
0.20313
104
0.203125
97
0.203119
101
0.203114
91
0.203108
129
0.203103
105
0.203097
94
0.203092
89
0.203086
93
0.20308
96
0.203075
85
0.203069
84
0.203064
91
0.203058
77
0.203053
88
0.203047
78
0.203042
84
0.203036
82
0.203031
60
0.203025
78
0.20302
77
0.203014
78
0.203008
71
0.203003
75
0.202997
77
0.202992
69
0.202986
75
0.202981
88
0.202975
59
0.20297
77
0.202964
66
0.202959
74
0.202953
73
0.202948
75
0.202942
56
0.202937
65
0.202931
56
0.202926
63
0.20292
75
0.202914
77
0.202909
72
0.202903
68
0.202898
66
0.202892
57
0.202887
71
0.202881
74
0.202876
49
0.20287
76
0.202865
59
0.202859
65
0.202854
65
0.202848
58
0.202843
58
0.202837
56
0.202832
64
0.202826
69
0.202821
64
0.202815
59
0.20281
66
0.202804
60
0.202798
57
0.202793
56
0.202787
63
0.202782
46
0.202776
68
0.202771
57
0.202765
50
0.20276
49
0.202754
56
0.202749
55
0.202743
63
0.202738
43
0.202732
44
0.202727
57
0.202721
63
0.202716
53
0.20271
69
0.202705
55
0.202699
62
0.202694
58
0.202688
end of experiment
